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從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩台監視器，一台用於SEM圖像觀察和另一台用於元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩台監視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。

維護簡便

工廠預置中心燈絲，十分便於更換。因此，可長期保持穩定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。

可信賴的真空系統

真空系統使用高性能的擴散泵保証了潔淨的高真空狀態。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩定，維護簡便的特色。

     掃描電子顯微鏡SEM-6510最基本的功能是對各種固體樣品表面進行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，應用於生物學、植物學、地質學、冶金學等領域。觀察可以是一個樣品的表面，也可以是一個切開的面，或是一個斷面。冶金學家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面。可以很方便地研究氧化物表面，晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的細微結構，生物學家可用它研究小的易碎樣品的結構。例如：花粉顆粒，硅藻和昆虫。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應的立體感強的照片。

     在日本電子掃描電鏡應用中，很多集中在器件和方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節或相互關係可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導體P—N結內部缺陷。

     電子束與樣品作用區內，還發射與樣品物質其他性質有關信號。例如：與樣品化學成分分布相關的，背散射電子，特征X射線，俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結構相關的，背散射電子衍射現象的探測；與半導體材料電學性能相關的，二次電子信號、電子束感生電流信號；在觀察薄樣品時產生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用於探測和定性定量分析樣品物質的相關信息。

 

    日本電子SEM-6510對於固體材料的研究應用非常廣氾，沒有任何一種儀器能夠和其相提並論。對於固體材料全面特征的描述，掃描電鏡是至關重要的。

  

保証分辨率	3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV）
放大倍數	5至300,000x
加速電壓	0.5kV至30kV
電子槍	工廠預對中燈絲
聚光鏡	變焦聚光鏡
物鏡	錐形物鏡
樣品台	全對中樣品台
X-Y	80mm-40mm
Z	5mm至48mm
旋轉	360°
傾斜	－10°至＋90°
排氣系統 （高真空模式）	DPx1，RPx1
排氣系統 （低真空模式）	DPx1，RPx2

      JSM-6510分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統合於一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

 操作窗口

直觀的操作界面的設計，簡明易懂便於迅速掌握操作。

 支持多用戶

單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環境。用戶登錄時，即可加載已註冊過的設定。

 

同時顯示兩幅圖像

畫面上併列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像。可同時觀察樣品的形貌和組成分布。

微細結構測量

適合於多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。