壓電陶瓷電動機簡介:壓電陶瓷電動機是基於壓電現象產生超聲駐波的原理而開發的,應用於運動控制領域的精密電動機,也稱超聲波電動機。與直流電動機相似,具有高分辨率和壓電驅動裝置的動態特性。電動機工作時沒有內在磁場和運動部件,結構緊湊,行程不受限制,能夠達到直線和旋轉電動機所不能匹敵的精度。壓電陶瓷電動機可用在從普通環境到超高真空環境的半導體設備、平面平台設備、光學纖維制動態元件製造、存儲介質製造和測試設備、生物醫藥和製藥、度量衡和超高精度的微型數控等設備中。
壓電陶瓷電動機,給陶瓷電動機輸入驅動電壓后,壓電陶瓷產生壓電現象,同時發生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產生二維聲波,壓擠靠着一個陶瓷條的陶瓷指尖產生一個驅動力,驅動與之接觸的陶瓷條帶動直線或旋轉平台產生運動。但沒有驅動電壓的時候,陶瓷指尖對陶瓷條的壓力使之在運動裝置上維持一個保持力矩,而不產生位移和滯后。
壓電陶瓷電動機)的運動控制系統具有如下功能和特點:
(1)定位精確,分辨率可達1μm,精度10nm:
(2)運動速度平穩,最低10μm/s,最高250mm/s:
(3)標準應答時間為50~75μs:
(4)整定時間明顯優于一般伺服電動機,以0.1μm的分辨率為例,只需1~2ms,為一般伺服電動機的1/10:
(5)定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題:
(6) 重量輕,體積小:
(7)行程無限制