氣浮平移台

產品描述

北京航星聯合科技有限公司/天津中精微儀器設備有限公司氣浮氣浮平移台系列是經過我們長期不懈努力推出的，精度高、剛度特別強，已獲國家專利。國內外先進水平

氣浮平移台實現了設計定型，可以快速訂製，行程250mm（12寸）XY台正在備現貨。

? 我公司的氣浮平移台產品，一般採用直線電機、光柵尺配合氣浮導軌的方法，分辨率好于200nm，精度等同于光柵精度。

? 也可提供雙頻激光反饋控制，穩定精度可達20nm，有成功案例。

? 採取隔塵措施后，可應用於高精度生產場合。

? 可提供超長行程單軸工作台。

? 也可採用音圈電機、高精度絲杠配合我們獨創的5自由度氣浮聯軸器，驅動工作台。

? 平移台可以安裝氣浮主軸和氣浮轉台。

3軸龍門氣浮平移台（已設計定型） 3軸氣浮平移台（已設計定型，圖示為帶防護型）

應用於：集成電路測試、CCD鏡頭拼接儀等精密應用於：上述龍門氣浮平移台所有應用場合，台面相

超精密測量場合。對小一些。此時一般要去掉部分防護。

應用於：高精度激光加工等精密加工場合應用於：光學零件加工設備、超精密加工設備

3軸氣浮平移台的一部分可以單獨供貨，是單軸或雙軸氣浮平移台

雙軸氣浮平移台雙軸氣浮平移台（帶防護）單軸氣浮平移台單軸氣浮平移台（帶防護）

其他案例

10m長行程單軸平移台 3軸氣浮平移台（帶主軸和轉台） 3軸氣浮平移台（Z軸提升式）