HERA-DLTS

高能分辨率深能級瞬態譜（DLTS）

 

我們在1990年推出了第一台數字DLTS，隨着電腦技術的發展，使得在短時間內進行複雜計算成為可能。在純指數發射過程模型的基礎上，用各種數學模型分析測量到的瞬態過程，如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態擬合、ITS（等溫瞬態光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統相比，HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。

 

特點

l         自動接觸檢查

l         常規測試和加強軟件

l         自動電容補償

l         三終端FET電流瞬態測量

l         大電容和濃度範圍

l         靈活性高、模塊化硬件

l         支持各種冷卻倉和溫度控制器

l         傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

l         DLTFS（深層瞬態傅里葉光譜儀）評價

 

操作模式

l         C-DLTS(電容模式)

l         CC-DLTS(定電容模式)

l         I-DLTS（電流模式）

l         DD-DLTS（雙關聯模式）

l         Zerbst-DLTS

l         O-DLTS（光激發模式）

l         FET-Analysis

l         MOS-Analysis

l         ITS（等溫瞬態光譜儀）

l         缺陷分析

l         俘獲截面測量

l         I/V, I/V(T) 查理森Plot分析

l         C/V, C/V(T)

l         TSC/TSCAP

l         PITS（光子誘導瞬態譜）

l         DLOS(特殊系統)