大負載型除振裝置SAF系列

 

為精密儀器量身定製的高精度\低成本 除振系統

該除振裝置不僅擁有優異的性能，同時兼備了很好的靈活性。現如今越來越多的精密儀器需要將除振裝置直接與儀器連接，能夠充分滿足這類需求的除振裝置就是我們的SAF系列。該系列產品不僅擁有優越的除振性能還兼備了很強的拓展性。該系列可以為精密儀器提供更為理想的除振環境。

■技術領先\業勣顯著的明立除振的空氣彈簧式除振系統

·半導體製造及檢查裝置 ·液晶製造及檢查裝置 ·電子顯微鏡 ·激光顯微鏡 ·激光加工裝置 ·坐標測定裝置 ·精密加工 ·其它

採用了在顯微鏡、激光等的應用技術和半導體製造、檢測裝置等領域里被廣氾使用的，並且有出眾業勣的空氣彈簧系統。從幾個Hz到几百個Hz的大範圍頻率頻帶中它的優越性能都得到了認証和好評。另外即使停止供給空氣，空氣彈簧下部的防震橡皮也照樣能夠保護負載儀器的精密構造。

■具有通用化的組合件形式
跟設備組裝在一起的時候，除振系統所需的空間很小， SAF系列正是將空氣彈簧與高靈敏度水平傳感器集成為一個小型組件的系列。從而可以不用大幅度改變設備本身的規格就能進行安裝，進而獲得很高的除振性能。

■總體高度統一為185mm（浮起時）
這種除振系統總體高度統一為185mm。萬一由於設計的變更而使上面搭載板上的負載儀器重量有增減時，也能在不變更裝置高度的前提下滿足要求。

■可負載範圍廣
需要除振的精密儀器每年在種類以及使用目的上都會越來越多樣化。根據精密儀器的重量，明立除振擁有從SAF-80到380 的11個種類的陣容。可以相應的滿足從數百公斤甚至到10噸以上的大型精密儀器的負載。

■也適用於在淨化室使用
當在高等級的淨化室內使用時，可以改用能集中排放空氣的專用於淨化室的維持水平傳感器。（因為是特殊產品，詳細情況請另行咨詢。另外，不可變更為雙級傳感器。）

■即時應對負載物的移動
當負載物移動、線路板交接、自動加工、測量機等負載量發生變化時，使用彈性體的空氣彈簧就必須恢復到原有位置。SAF系列為了控制空氣彈簧，將明立獨創的高靈敏度水平傳感器作為標準配置，實現了在垂直方向上的重複位置精度達正負200微米。另外，近年還有些因為移動負載的高加速度導致平台搖晃問題的案例。使用雙級傳感器既可以減少搖擺時間,同時重複位置精度也可以達到正負±100微米， 作為被動除振系統對應的移動負載提高到了極限。（如果移動負載搖擺時間上有任何問題，請務必與我們聯繫。）

主要規格

型式	SAF-80	SAF-100	SAF-120	SAF-140	SAF-160	SAF-180
固有頻率	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空氣彈簧
制振方式	有阻尼的空氣阻尼孔
保持水平方式	自動維持水平機構（回復精度±200μm）
機體尺寸 W×D×H(mm)	170×170 ×185	180×180 ×185	200×200 ×185	210×210 ×185	240×240 ×185	250×250 ×185
機體重量(kg) [1個空氣彈簧]	10.5	14	15	19	21	27.5
負載量(kg) [使用4個空氣彈簧時]	560	880	1200	1700	2200	2800
供給壓力	0.40～0.70MPa（空氣源：壓縮機・工廠空氣・氮氣瓶）

 

型式	SAF-200	SAF-230	SAF-270	SAF-330	SAF-380
固有頻率	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空氣彈簧
制振方式	有阻尼的空氣阻尼孔
保持水平方式	自動維持水平機構（回復精度±200μm）
機體尺寸 W×D×H(mm)	260×260 ×185	300×300 ×185	320×320 ×185	370×370 ×185	430×430 ×185
機體重量(kg) [1個空氣彈簧]	32	43.5	52	67.5	90
負載量(kg) [使用4個空氣彈簧時]	3600	4600	6400	9600	13000
供給壓力	0.40～0.70MPa（空気源：壓縮機・工廠空氣・氮氣瓶）

 

選擇機種以及組裝裝置設計的注意事項

·支持負載台的空氣彈簧之間的跨距越大越好.

·負載物(包括負載台)的重心位置,需要在如下圖指示範圍內.

·在負載臺上有移動工作台的狀態下,最好在考慮有偏載的條件下選擇SAF.如果負載台有搖晃的情況,在對穩定時間有要求的情況下,請聯繫我們.(如果可以告知移動物的重量,速度,加速度等情況的話,  我們可以告知方法.)

·負載台外周如果有附加物，需要確保10mm以上的空隙。

·在運輸組裝裝置時，若不能拆開負載台和架台，需要用固定用螺絲或者金屬零件等安裝后才能運輸。

·為了更好的發揮除振性能，負載台和架台最好都選擇高剛性的。

·SAF系列中，空氣彈簧4個為一套是基本配套，如果需要變更個數的話，可以聯繫我們。