自然界中物質的形態除了固、液、氣三種形態之外，還存在第四態，即等離子體狀態。等離子體的產生過程為：固體物質在受熱的情況下熔化成液體，液體進一步受熱后變成氣體，氣體進一步受熱后，中性的原子和分子電離成離子和電子，形成等離子體。由於等離子體中含有大量具有高能量的活性基團，這使得等離子體能夠參與或發生許多不同的化學或物理反應。
   可開設的實驗： 在基材（如硅片）上完成微波等離子體化學氣相沉積法制備各種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學合成等實驗；適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。培養學生掌握等離子體技術的應用。
本裝置需另配光學顯微鏡、超聲波清洗機、氣源。隨機配備基材、金剛石微粉。
微波等離子設備(PHONE5)技術特點： 
1 無內部電極，可避免放電污染，運行氣壓範圍寬，能量轉換效率高，可產生大範圍的高密度等離子體。
2 設有垂直交叉的兩個方向的透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電特性。
3 微波等離子體刻蝕精度達到亞微米級。制備各種功能薄膜材料的速率較快。 
微波等離子設備(PHONE5)技術參數及性能： 
1、微波源：功率0~800W連續可調輸出；
2、真空系統：採用旋片真空泵，單相220V交流電源，極限真空6×10-1帕，抽速2升/秒；真空計採用數顯壓阻式真空計和熱偶真空計聯合作用，用於測量本底真空和工作時的工作氣壓。真空密封採用金屬和橡膠密封；真空調節採用隔膜閥粗調和微調閥精細調節，調節快速方便、穩定性好。
3、供氣系統：有兩路獨立供氣氣路，通過轉子流量計控制流量。
4、自帶冷卻水循環系統形成冷卻水。制冷系統可保証冷卻水溫度在30度以下，無水源要求。
5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環行器、水負載和三螺釘阻抗調配器，可保証微波源的安全工作；配有微波反射測量系統，保証等離子體最大限度地吸收微波能。反應室工作壓強：几帕～十千帕；反應室極限壓強：6×10-1帕；真空反應室石英管腔體尺寸：Φ50mm；基片溫度範圍：200～1000℃；電磁波功率：0～800W；接地線＜3Ω。
微波等離子設備(PHONE5)