在導熱油泵使用的過程中,由於真空泵油直接進入泵體內腔，在真空泵運行時，隨着氣體壓強的逐漸降低，泵溫的逐漸升高。油品中飽和蒸汽壓高的分子組分就能蒸發到真空的空間，即影響真空泵極限壓強的達到，又可向真空系統返流擴散，污染真空系統，並直接影響極限真空的獲得。真空齒輪泵工作原理屬於正位移泵，導熱油泵工作時依靠主、從動齒輪的相互嚙合造成工作容積變化來輸送熔體。工作容積由泵體、齒輪的齒槽及具有側板功能的軸承套構成。當齒輪旋轉時，熔體即進入吸入腔兩齒輪的齒槽中，隨着轉動，熔體從兩側被帶入排出腔，齒輪再度嚙合，使齒槽中的熔體被擠出排出腔，壓送到出口管道。軸承不能使用通常的潤滑油脂，以避免污染熔體，通常採用熔體自潤滑。