SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器，標準型有兩路傳感器輸入，同時，4路傳感器輸入可選，具體視用戶實際應用而定；雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。


在大型系統中，傳感器輸入可以分配給不同材料，採集的數據通過平均值，以達到更精確的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率採集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。

數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀採用了RS-232接口和Windows®窗口軟件，可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數，包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時，USB或以太網選項也添加通信協議中，以最大程度方便不同用戶。

SQM160產品詳細介紹

便於使用

     開啟速率和膜厚測量，只需先按住Zero鍵以清除上次讀數，然後關閉，打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率，即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了，檔板就會自動關閉，同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中，操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩餘使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設置。首先，選“program”鍵，進入菜單，然後，旋轉撥針鈕，這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示，而設定的數據可以在輔助界面中找到。

高精度，低成本

   標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另一大優點是在整個工作範圍內，溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯袂使得該款儀器具備了卓越的性價比。

產品特點：

■ 雙通道（標準型），四通道可選

■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出

■ 高精度: 0.03Hz at 10個讀數/s

■ RS-232 接口, USB 或以太網可選

產品規格

QCM傳感器輸入                   標準型: 2;路   可選: 4路           

頻率範圍                             1-10 MHz                           

頻率分辨率                           標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec

                                       可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 

頻率穩定性                         在 0º to 50ºC，總計± 2 ppm         

可選擇的測量週期                 0.10 to 2 sec （每級增量0.05 sec）   

測量選擇                             1 to 20 readings                   

存儲膜系                             99                                 

模擬輸出                             2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 

數字輸入/輸出                     2 路數字輸入, 4路繼電輸出             

數字接口                             標準型: RS-232                     

                                         可選: USB or 以太網               

電源                                   0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 

CE 標識                               Class 1 equipment                 

                                           73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD   

安裝支架                             1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,   

                                           89 x 213 x 197mm （3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4"）

重量                                   2.7 Kg （6 lbs）                   

Windows軟件（included）       提供遠程安裝和操作指導，數據錄入功能

訂貨信息

附件

782-900-008                 單台SQM-160 19"安裝支架

782-900-014                 雙台SQM-160 19"安裝支架

782-502-062                 4傳感器輸入擴展卡     

                                 （將標準型2路擴展到6路）

782-900-042                 高分辨率選件

                                  （此項需在工廠中完成安裝）

782-900-040                 USB選擇卡           

782-900-041                 以太網選擇卡