SQM160膜厚監測儀

SQM160膜厚監測儀
型號:SQM160
品牌:INFICON
原產地:美國
類別:電子、電力 / 儀器、儀表 / 自動化成套控制系統
標籤︰膜厚儀 , 監測儀 , 膜厚監測
單價: -
最少訂量:1 件

產品描述

  SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標準型有兩路傳感器輸入,同時,4路傳感器輸入可選,具體視用戶實際應用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。


在大型系統中,傳感器輸入可以分配給不同材料,採集的數據通過平均值,以達到更精確的沉積控制;也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中,為了延長傳感器的使用壽命,速率採集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1Å/s 還是0.01Å/s的速率顯示模式.另外,還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。

數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀採用了RS-232接口和Windows®窗口軟件,可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數,包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時,USB或以太網選項也添加通信協議中,以最大程度方便不同用戶。

SQM160產品詳細介紹

便於使用

     開啟速率和膜厚測量,只需先按住Zero鍵以清除上次讀數,然後關閉,打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率,即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了,檔板就會自動關閉,同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中,操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩餘使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設置。首先,選“program”鍵,進入菜單,然後,旋轉撥針鈕,這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示,而設定的數據可以在輔助界面中找到。

高精度,低成本

   標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另一大優點是在整個工作範圍內,溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯袂使得該款儀器具備了卓越的性價比。

產品特點:

■ 雙通道(標準型),四通道可選

■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出

■ 高精度: 0.03Hz at 10個讀數/s

■ RS-232 接口, USB 或以太網可選

產品規格

QCM傳感器輸入                   標準型: 2;路   可選: 4路           

頻率範圍                             1-10 MHz                           

頻率分辨率                           標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec

                                       可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 

頻率穩定性                         在 0º to 50ºC,總計± 2 ppm         

可選擇的測量週期                 0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec)   

測量選擇                             1 to 20 readings                   

存儲膜系                             99                                 

模擬輸出                             2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 

數字輸入/輸出                     2 路數字輸入, 4路繼電輸出             

數字接口                             標準型: RS-232                     

                                         可選: USB or 以太網               

電源                                   0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 

CE 標識                               Class 1 equipment                 

                                           73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD   

安裝支架                             1/2-rack cabinet, 3-1/2" high,   

                                           89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")

重量                                   2.7 Kg (6 lbs)                   

Windows軟件(included)       提供遠程安裝和操作指導,數據錄入功能

訂貨信息

附件

782-900-008                 單台SQM-160 19"安裝支架

782-900-014                 雙台SQM-160 19"安裝支架

782-502-062                 4傳感器輸入擴展卡     

                                 (將標準型2路擴展到6路)

782-900-042                 高分辨率選件

                                  (此項需在工廠中完成安裝)

782-900-040                 USB選擇卡           

782-900-041                 以太網選擇卡
SQM160膜厚監測儀 1SQM160膜厚監測儀 2

會員信息

深圳市利方達科技有限公司
國家/地區︰广东省深圳市
經營性質︰貿易商
聯繫電話︰18620085190
聯繫人︰劉建輝 (銷售工程師)
最後上線︰2019/03/25

該公司相關產品信息