特點

l   自動接觸檢查

l   常規測試和加強軟件

l   自動電容補償

l   三終端FET電流瞬態測量

l   大電容和濃度範圍

l   靈活性高、模塊化硬件

l   支持各種冷卻倉和溫度控制器

l   傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

l   DLTFS（深層瞬態傅里葉光譜儀）評價

l   直接測量發射瞬態

l   使用28個不同的相關功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個溫度掃描信號

 

操作模式

l   C-DLTS(電容模式)

l   CC-DLTS(定電容模式)

l   I-DLTS（電流模式）

l   DD-DLTS（雙關聯模式）

l   Zerbst-DLTS

l   O-DLTS（光激發模式）

l   FET-Analysis

l   MOS-Analysis

l   ITS（等溫瞬態光譜儀）

l   缺陷分析

l   俘獲截面測量

l   I/V, I/V(T) 查理森Plot分析

l   C/V, C/V(T)

l   TSC/TSCAP

l   PITS（光子誘導瞬態譜）

l   DLOS(特殊系統)