由國內外提供技術，國內生產的GMPOWER品牌射頻自動匹配器，廣氾適用於等離子刻蝕體、鍍膜、清洗、等離子體增強、感應加熱以及太陽能製造設備PECVD製造中，具有功率覆蓋範圍大（50W-5KW）、匹配時間短（≤3秒）、指示功能全、操作簡單等優勢，可通過數字接口實施計算機數據採集和控制，輕鬆實現時入射功率、反入射功率、直流偏壓等的精確測量。該匹配器與電源完全獨立，可配置AE、COMDEL、MKS等多家品牌的射頻電源，最大限度節約射頻系統成本.

• 產品描述
• *功率：1KW、2KW、5KW 頻率：13.56MHz
• *系統採用高速配算法，即使系統處於高Q值也可在接近匹配點時減速，達到精確匹配效果
• *標準配置採用可調的L型匹配網絡，滿足絕大部分負載要求，也可根據客戶負載陰抗設計配置匹配網絡，實現自動匹配
• *配套公司標準電源可方便面板操作,手動/自動,預置位置,顯示電容位置等

• 2KW無顯示
  電源輸出	AC180-240V 50Hz	冷卻方式	強制風冷
  輸出電流	0.5A	機箱尺寸	390mm(長）*260mm（寬）*132.5（高）
  射頻功率範圍	0-2KW	重量	10.5kg
  射頻工作頻率	13.56MHz
  射頻輸入接頭	N型或UHF型
  射頻輸出接頭	N型/UHF型/銅帶型
  用戶接口	DB15針接口，採用RS232、RS485通訊協議