1.一鍵式全自動執行清洗和吹干動作，整個過程無需人工干預。

2.採用彩色觸摸屏作為人機操作界面；集成操作和錯誤、報警顯示。

3.出水壓力可調。

主電機（清洗、吹干）轉速可調。

清洗、吹干時間可調。

4.適用於3” / 4” / 5” / 6” /8”Wafer；

適用於6”和8”的Frame。