低溫泵維修：Ulvac(日本愛發科)、Anelva(日本安內華)、Cti（美國赫力       思）、Leybold(德國萊寶)、Suzuki(日本鈴木)、Austin(美國奧斯汀)等。
※  機械油泵、干泵、分子泵、擴散泵維修：Ulvac（日本愛發科）、 Alcatel（法國阿爾卡特）、 Leybold（德國萊寶）、 Boc edwards（英國愛德華）、Ebara（日本荏原）、 Kashiyama(日本堅山)、 Becker （德國貝克）、Iwata（日本岩田）、 Pfeiffer(德國普發)、Busch（德國普旭）、Rietschle(德國里其樂)、Orion(日本好利旺)等。