加熱燃燒噴淋水洗式PECVD尾氣處理設備(SCRUBBER)

加熱燃燒噴淋水洗式PECVD尾氣處理設備(SCRUBBER)
型號:BLCS-400
品牌:-
原產地:中國
類別:電子、電力 / 其它電力、電子
標籤︰Scrubber , 尾氣處理設備 , PECVD
單價: -
最少訂量:1 件

產品描述

 尺寸:800×805×1900

類型:加熱水洗式

處理能力:400/分鐘

排污方式:自然排+泵強排

噴淋室:加壓噴射

水處理方式:泵循環+自來水

冷卻方式:動力冷卻循環水

電源:220V40A

加熱燃燒噴淋水洗式    尾氣處理設備SCRUBBER 規格(mm) : 800()×805()×1900() 處理量 : 400 SLM for 8″Wafer 無粉塵積聚問題 維護簡便 採用防腐蝕材料與技術 採用循環系統減少水量消耗 電源 : 208VAC , 3 Phase , Max. 35A 壓縮空氣 : 1/4”, 5~7 kgf/cm2 , Max 180 LPM 冷卻水 : 3/8”, 3~5 kgf/cm2 , Max 7 LPM 氮氣 : 1/4”, 5~7 kgf/cm2 , Max 50 LPM 氣體入口 :NW50 , 1 ~ 2 Port 排廢 : NW100 排污水 : NW50 熱排氣 : 100mm Dimension(mm) : 800(W)×805(D)×1900(H) Capacity : 400 SLM for 8″Wafer No Powder Accumulation Problem Minimal Maintenance Requirement and Easy Maintenance Corrosion Resistant Technology and Material Reduction of Water Consumption by Circulation POWER : 208VAC , 3 Phase , Max. 35A CDA : 1/4”, 5~7 kgf/cm2 , Max 180 LPM CITY WATER : 3/8”, 3~5 kgf/cm2 , Max 7 LPM N2 : 1/4”, 5~7 kgf/cm2 , Max 50 LPM Gas Inlet : NW50 , 1 ~ 2 Port Exhaust : NW100 Drain : NW50 Thermal Exhaust : 100m 半導體尾氣處理設備 該設備主要應用於半導體行業、TFT-LCD行業以及太陽能光伏行業中的蝕刻與CVD製程。主要處理氣體包括刻蝕化學氣相沉積製程中常見的有毒腐蝕氣體,包括SiH4SiH2CL2 PH3B2H6TEOSH2CONF3SF6C2F6WF6NH3N2O等。在業界有應用廣氾,運行與維護方便且成本低。 根據廢氣的不同性質,尾氣處理方式: □濕法處理(Wet Scrubber):水噴淋吸收溶解,NH3CL2HCLBCL3HBr等處理 熱濕處理(Thermal & Wet Scrubber):燃燒或電加熱及濕法噴淋處理,能夠完全徹底處理廢氣,如SiH4Geh4TEOSDCSPH3 CF4H2WF6等處理 北京邦聯成科技有限公司 T:010-51291655 F:010-51291658

加熱燃燒噴淋水洗式PECVD尾氣處理設備(SCRUBBER) 1

會員信息

北京邦联成科技有限公司
國家/地區︰北京市海淀区
經營性質︰貿易商
聯繫電話︰15811398336
聯繫人︰張亞楠 (經理)
最後上線︰2020/09/09