特氣櫃尺寸：800長×540寬×1800高

控制櫃尺寸：800長×230寬×320高

PN2入口壓力 80PSI，1/4 MALE VCR接口

GN2入口壓力 80PSI，1/4 MALE VCR接口

CDA入口壓力 4-10bar，1/4卡套接口

VENT  1/2VCR接口

工藝氣體出口 兩路1/4 MALE VCR接口

特氣櫃櫃體換氣量: SiH4-1200次/小時，其餘300次/小時

電源：220V（半自動）    防爆玻璃觀察窗（標配）

（根據實際需要可安裝稱重、報警、加熱裝置）

◆按瓶數分類：單瓶櫃（架）/二瓶櫃（架）/三瓶櫃（架）

◆按操作方式分類：手動、半自動。

◆氣路配件，接頭、閥門等全部是進口電子級材料，管道為316L，自動軌道焊接。

◆氣路設計合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶櫃留有排氣口，並具有負壓檢測 。

◆氣瓶櫃箱體採用安全設計，所選用的材料適用於各種不同性質的氣體，美觀，緊湊，安全，質優價廉，可按照客戶要求定製。

◆完善的安全報警裝置，具有氣體洩漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等洩漏報警）報警信號被觸發時，自動切斷。

 

特氣櫃主要應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，應用於半導體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業。

 

我公司製作特氣櫃具備以下優勢：

 

◆交貨期短，常用配件備有大量庫存。

◆根據不同客戶要求，可靈活改變設計方案。

◆配件均為進口知名產品，氣櫃有專職人員檢驗檢漏，保証質量合格。

◆完善的售前、售后服務，贏得客戶認可。例如，清華大學，北京大學，中科院半導體所等。

 

我們的特氣設備有：電子級特氣櫃(Gas Cabinet或稱鋼瓶櫃、氣瓶櫃)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),氣體配比箱(Gas Box by Flow Meter)，閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測器（Gas Detector），廢氣處理設備(Scrubber)。我們的產品有：美國PARKER調壓閥、FPA接頭，日本JSK卡套接頭，日本FUJIKIN VCR接頭，高純KUZE/ASFLOW BA/EP 不鏽鋼管，高純NKS壓力表，氣體壓力傳感器，氣體壓力開關，高純OHNO/Fujikin隔膜閥，Parker過濾器，Brooks/Fujikin氣體質量流量計。