BROOKS流量計5850E

流量範圍

相當于0－3 sccm到0－3000 sccm氮氣（N2）的範圍

在SEMI（半導體設備和材料協會）標準壓力和溫度（0ºC和101kPa）條件下測得

注：滿程流量範圍大於50 sccm

性能：校準后為滿量程±1％，大於20slpm時為滿量程±1.5％。

可重複性：0.25％

控制範圍：50：1

安裝狀態靈感度：復零后，比指定精確度誤差不到±0.5％量程。

溫度敏感度：零點：小於±0.075％量程每攝氏度

量程：比最初校準刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度）

壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻）

輸出信號：輸出0－5伏直流到2000歐姆或更高的負荷

           輸出5±0.1伏直流（參考），最大負荷2000歐姆

最大操作壓力：1500psig ;5-50psid壓損（最小壓損根據氣體和週圍環境具體而定）

溫度、外界/氣體：41－149ºF（5－65ºC）

完全洩漏，外界：1×10^-9cc/s

功率要求：常閉閥（或常開閥/流量≤2.5slpm）

            3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

            常開閥/流量>2.5slpm

            10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

構造材質：

標準接液部分採用不鏽鋼材質，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N

連接：

硬件連接：標準9/16－18UNF不鏽鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR

電氣連接：卡連接器（鍍金）或D型連接器（DA－15P）