硅碳棒隨着工業的發展，企業對於結構原理可跟氫組成一系列硅氫化合物。硅氫化合物總稱為硅烷， 又稱硅氫化合物，通式是SinH2n+2，目前已制得的有一硅烷SiH4也叫甲硅烷到六硅烷Si6H14共六種。

甲硅烷：SiH4，無色無臭氣體、密度1.44克/升，熔點-185℃，沸點-111.8℃，不溶于水。

乙硅烷：Si2H6，無色無臭氣體，密度2.87克/升，熔點-132.5℃，沸點-14.5℃，微水解。
硅烷都能溶于有機溶劑，如乙醇、苯、二硫化碳等。加熱時分解為硅和氫。其衍生物如聚硅氧烷等則有許多用途。硅烷可由硅的氯化物（如四氯化硅等）用氫化鋁鋰還原而制得。此外，還有環硅烷，如（SiH2）n。
硅烷比烷烴化學性質活潑。所有硅烷熱穩定性都很差。將高硅烷適當加熱，分解為低硅烷。低硅烷(如SiH4)在溫度高于500℃時分解為硅和氫氣。有強還原性。在空氣中能自燃，生成二氧化硅和水，並放出大量的熱，可被一般氧化劑氧化，如：
SiH4+2KMnO4=2MnO2+K2SiO3+H2+H2O
室溫下跟鹵素髮生爆炸性的反應。在強碱溶液中水解為硅酸鹽和氫氣。在鹵化鋁催化作用下，跟乾燥的鹵化氫反應，生成鹵硅烷。用硅化鎂跟鹽酸反應，立即有氣體放出，這種氣體為硅烷的混合物，其中大部分為甲硅烷。還可用硅化鎂跟溴化銨在液氨中反應制得。混合氣體經液化后再分餾，得到不同硅烷。