不鏽鋼氣體過濾器
SS-A 系列
特點 Feature
超高純直通型氣體過濾器；
全316L 不鏽鋼結構；
應用於高溫和動壓；
結構緊湊，接口形式和尺寸多種可選；
流量範圍：15 ~ 300 SLPM；
對大部分高純半導體工藝氣體具有優良的兼容性；
3納米的粒子過濾能力確保了在最小壓降下高流量；
5Ra電解拋光表面防止內污染；
去離子水清洗后，熱氮氣烘乾，從而滿足半導體工藝標準；
Class 100 潔淨室製造、清洗和包裝；
100% 氦洩漏測試。
SS-B 系列
特點 Feature
超高純直通型氣體過濾器；
全316L 不鏽鋼結構；
應用於高溫；
結構緊湊，接口形式和尺寸多種可選；
對大部分高純半導體工藝氣體具有優良的兼容性；
3納米的粒子過濾能力確保了在最小壓降下高流量；
5Ra電解拋光表面防止內污染；
去離子水清洗后，熱氮氣烘乾，從而滿足半導體工藝標準；
Class 100 潔淨室製造、清洗和包裝；
100% 氦洩漏測試。
SS-D 系列
特點 Feature
超高純直通型氣體過濾器；
全316L 不鏽鋼結構；
應用於高溫和動壓；
結構緊湊，接口形式和尺寸多種可選；
對大部分高純半導體工藝氣體具有優良的兼容性；
3納米的粒子過濾能力確保了在最小壓降下高流量；
5Ra電解拋光表面防止內污染；
去離子水清洗后，熱氮氣烘乾，從而滿足半導體工藝標準；
Class 100 潔淨室製造、清洗和包裝；
100% 氦洩漏測試。
SS-H 系列
特點 Feature
超高純直通高流量型氣體過濾器；
全316L 不鏽鋼結構；
應用於高溫和動壓；
結構緊湊，接口形式和尺寸多種可選；
流量範圍：100 ~ 800 SLPM；
對大部分高純半導體工藝氣體具有優良的兼容性；
3納米的粒子過濾能力確保了在最小壓降下高流量；
5Ra電解拋光表面防止內污染；
去離子水清洗后，熱氮氣烘乾，從而滿足半導體工藝標準；
Class 100 潔淨室製造、清洗和包裝；
100% 氦洩漏測試。