離子注入作為微電子工藝中重要的摻雜技術，在優化材料表面性能方面發揮着關鍵作用。離子注入工藝對材料的高溫性能和耐化學侵蝕性能要求非常高，因此，電離室主要部件均採用由鎢、鉬或石墨材料。科威多年來一直對離子注入行業用鎢鉬材料進行生產研發，擁有穩定的生產工藝和豐富的經驗。
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