氮化物陶瓷濺射靶材  氮化鋁靶材 (AlN),氮化硼靶材 (BN),氮化鎵靶材(GaN),氮化鉿靶材(HfN),氮化鈮靶材,NbN,氮化硅靶材,(Si3N4),氮化鉭靶材,TaN,氮化鈦靶材  (TiN),氮化釩靶材,VN,氮化鋯靶材,ZrN.

氧化物陶瓷濺射靶材：氧化鋁靶材  (Al2O3)，氧化銻靶材(Sb2O3)，氧化銻摻錫靶材(ATO)，鈦酸鋇靶材(BaTiO3)，氧化鉍靶材(Bi2O3)，氧化鈰靶材(CeO2)，氧化銅靶材(CuO)，氧化鉻靶材(Cr2O3)，氧化鏑靶材(Dy2O3)，氧化鉺靶材(Er2O3)，氧化鉺靶材(Eu2O3)，氧化釓靶材(Gd2O3)，氧化鎵靶材(Ga2O3)，氧化鍺靶材GeO2)，二氧化鉿靶材(HfO2)，氧化鈥靶材(Ho2O3)，氧化銦靶材(In2O3)，氧化銦錫靶材(ITO)，三氧化二鐵靶材(Fe2O3)，四氧化三鐵靶材(Fe3O4)，氧化鑭靶材(La2O3)，鈦酸鉛靶材(PbTiO3)，鋯酸鉛靶材(PbZrO3)，鈮酸鋰靶材(LiNbO3)，  鐵酸镥靶材(Lu3Fe5O12)，氧化镥靶材(Lu2O3)，氧化鎂靶材(MgO)，氧化鉬靶材(MoO3)，氧化釹靶材(Nd2O3)，氧化鐠靶材(Pr6O11)，鈦酸鐠靶材(Pr(TiO2)2)，氧化鐠靶材(Pr2O3)，氧化釤靶材(Sm2O3)，氧化鈧靶材(Sc2O3)，二氧化硅靶材(SiO2)，一氧化硅陶瓷靶材(SiO)，鈦酸鍶陶瓷靶材.

硅化物陶瓷濺射靶材  硅化三鉻陶瓷濺射靶材  (Cr3Si)，二硅化鉻陶瓷濺射靶材  (CrSi2)，二硅化鈷陶瓷靶材(CoSi2)，  二硅化鉿陶瓷靶材  (HfSi2)，二硅化鉬陶瓷靶材  (MoSi2)，二硅化鈮陶瓷靶材(NbSi2)，二硅化鉭陶瓷靶材  (TaSi2)，三硅化五鉭陶瓷靶材  (Ta5Si3)，二硅化鈦陶瓷靶材  (TiSi2)，三硅化五鈦陶瓷靶材(Ti5Si3)，二硅化鎢陶瓷靶材(WSi2)，硅化三釩陶瓷靶材(V3Si)，二硅化釩陶瓷靶材  (VSi2)，二硅化鋯陶瓷靶材  (ZrSi2) .

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