Auto 系列真空鍍膜系統最初是由世界上最著名的真空系統製造商之一的英國
Edwards 所設計製造的，其用戶遍及世界各國的科學研究機構、大學及公司企業研發部門。
從2003 年開始，印度HIND HIGH VACUUM（即HHV）公司成為Edwards 全系列真空
鍍膜設備的整機外包製造供應商。從此，Edwards 的真空鍍膜系統（其中包括AUTO 系列
產品）就全部由HHV 公司按照Edwards 的質量標準及生產管理流程進行製造。2008 年底
Edwards 進行全球業務拆分重組時，其真空鍍膜產品事業部正式被HHV 所收購併重組為
HHV 在英國的子公司，繼續負責原Edwards 真空鍍膜產品的全球市場開發、銷售與技術支
持服務。
HHV 公司成立于1965 年，位於印度的科技之都班加羅爾，是印度最著名的、實力最
強的真空設備製造商，員工超過800 人，總廠房面積接近3 萬平方米。HHV 除了製造各種
科研型、生產型真空鍍膜系統，還提供硅基薄膜太陽能電池成套生產線，真空泵及規管，光
學鍍膜服務等。HHV 除了是印度本國的大型尖端科學工程以及軍工項目所需真空設備及系
統的定點生產單位，而且還為一些國外著名客戶提供大型的尖端真空設備，比如：給俄羅斯
提供軍用飛機發動機製造用的大型真空焊接設備以及天文望遠鏡製造用的超大型光學透鏡
鍍膜系統，也是著名的法國Valeo 法雷奧公司的汽車大燈真空鍍膜生產設備的主要供應商。
HHV 下面專門設立出口設備事業部，在班加羅爾的高新技術工業區設有廠房面積約
12000 平米的獨立生產基地，專門生產出口用高端的真空鍍膜設備，具有ISO9001:2000,
ISO14001:2000，BSOHSAS18001:2007，CE 等國際質量及安全認証。而Auto 系列真
空鍍膜設備正是由HHV 的出口設備事業部生產的。

AUTO 系列的真空鍍膜系統具有20 來年的發展曆史，是技術成熟的多功能設備平台，
設備所有關鍵部件均採用世界著名品牌產品，操作使用方便、擴展功能強、性價比高、佔地
面積小，尤其適合高校、科研院所的需求，在全球的安裝量已超過700 台。
AUTO 系列的真空鍍膜系統採用觸摸屏PLC 系統實現對真空系統的一鍵式自動控制。
該系統具有菜單式的友好操作界面，全面的真空安全保護Interlock，即使是完全沒有真空
知識背景的人也可以很容易使用。
做為一台多功能的設備平台，AUTO500 的系統可以根據應用的不同要求，而配置成電
子束蒸發鍍膜、多靶磁控濺射、熱阻蒸發、OLED 有機蒸發等不同的鍍膜方式；根據應用的
要求，樣品台可以配置成加熱控制到不同的溫度，也可以配置成冷卻功能；通過配置膜厚測
量儀，可以實時監控薄膜沉積的速率及厚度等。
另外，AUTO500 系統配置的是最新一代的EdwardsnEXT400 渦輪分子泵，同時在渦
輪分子泵與高真空閥門之間配備有液氮冷阱，可以大大提高抽水汽的速度，改善抽真空的速
度以及設備極限真空度；還有，設備配置的高真空閥門具有特有的軟開啟功能，可以減少打
開高真空閥門時腔室內較多氣體對渦輪分子泵衝擊，起到最大程度保護分子泵的作用。