強大而多功能的 Cesar® 射頻電源平台可提供非常穩定的射頻功率輸送性能，以及一個多樣化的模式選擇，每種模式都具有一套獨特的功能（2、4、13.56、27.12和40.68 MHz；0.3至5 kW；擁有多種用戶界面和輸入選擇），從而使您能夠選擇一套特別適合您應用的組件——而無需定製發生器所需的漫長交付期。

高質量的組件和較少的零件數量使可靠性和產品生命週期均實現最優化，從而使您的投資和製程生產力得到最大化的利用。一個全面而高度靈敏的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上找到，並顯示在一個大的液晶顯示屏上）帶來了無與倫比的便利性——提高了操作人員的效率，並使培訓成本最小化。

典型應用：

高密度等離子體化學氣相澱積（HDP CVD）

等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）

刻蝕-RIE/ICP

物理氣相沉積

等離子清洗

優點

  更長的製程正常運行時間

  更高的操作簡易性和靈活性

  無需定製組件提前期的定製化性能

  長期的使用簡易性，節省成本

功能

  精簡的流線型設計

  標準的平台包裝

  高效率——低發熱量

  200和400 VAC 的輸入選擇

  兩個模擬用戶端口選擇

  RS-232、以太網及 Profibus 通訊

  多功能前面板

  便利、全面的操作菜單

  CEX（相位同步）操作模式