型號

RS290C

RS295C

RS380C

RS385C

RS390C

RS395C

機台結構

一體式

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分體式

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氣浮迴轉軸系

一級精度(0.025+0.0002H)μm

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二級精度(0.05+0.0003H)μm

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三級精度(0.1+0.0005H)μm

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四級精度(0.15+0.001H)μm

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承重23Kg

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承重43Kg

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承重65Kg

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迴轉直徑260mm

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迴轉直徑320mm

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迴轉直徑600mm

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轉速

1.5-8轉可調

立柱系統

行程

220mm

320mm

620mm

電動驅動

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鋼制立柱體

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大理石立柱體

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光柵分辨率

1μm

0.5μm

0.5μm

1μm

0.5μm

直線度

0.3μm/100mm

0.3μm/100mm

0.2μm/100mm

0.5μm/100mm

立柱對軸心線平行度

0.5μm/200mm

0.5μm/320mm

1μm/320mm

5μm/620mm

橫向系統

光柵分辨率

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0.05μm

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0.05μm

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0.05μm

電動驅動

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手動驅動

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傳感器

電感傳感器

量程

600μm

最小分辨率

0.01μm

圓周采樣點

4096點/圈

8192點/圈

8192點/圈

16384點/圈

4096點/圈

8192點/圈

附件

精密調心調平工作台φ150

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精密調心調平工作台φ180

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精密調心調平工作台φ240

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標準玻璃半球

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定標塊

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直徑標準件

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精密二號卡盤

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精密三號卡盤

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精密四號卡盤

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測針φ2

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測針φ1

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測針φ4

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