型號

100C

120C

120H

120H-S

驅動器

行程

100mm

120mm

導軌精度

0.4μm /60mm

0.4μm /80mm

0.3μm /80mm

0.3μm /100mm

光柵分辨率

1μm

1μm

0.5μm

0.5μm

X軸精度

(5+1.5L/10000)μm

(3.8+L/10000)μm

(3.2+0.07L/10000)μm

(2.4+0.05L/10000)μm

測量速度

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

自定義測量速度

-

-

●

●

Z1傳感器

傳感器類型

光柵傳感器

10mm量程

●

-

-

-

12mm量程

-

●

-

-

24mm量程

-

○

●

-

40mm量程

-

-

○

●

50mm量程

-

-

-

○

分辨率

0.2μm

0.1μm

0.05μm

0.05μm

Z1精度

（3+0.1%H）μm

（2.2+0.08%H）μm

（1.8+0.07%H）μm

（1.8+0.05%H）μm

測力

1.8mN

1.5mN

1.2mN

0.7mN

Z2立柱

行程

280mm

320mm

400mm

400mm

電動驅動

○

●

●

●

手動驅動

●

○

-

-

鋼制立柱體

●

○

-

-

大理石立柱體

○

●

●

●

機台結構

一體式

-

○

●

●

分體式

●

●

-

-

自動化配置

測針自動抬起

-

○

●

●

測針自動回位

-

○

●

●

Z1自動接觸

-

○

●

●

配件

Ф8標準球

●

●

●

●

Ф12標準球

●

●

●

●

Ф18標準球

●

●

●

●

量塊組

●

●

●

●

調整旋轉工作台

●

●

●

●

精密正弦平口鉗

○

●

●

●

精密V型塊

○

○

○

●

17度斜測針

●

●

●

●

錐形測針

○

○

○

●

斧形測針

○

○

○

●

直式測杆

●

●

●

●

偏心式測杆

○

○

○

●

小孔測量杆

○

○

○

●

備註：● 代表標配   ○ 代表選配 - 代表不可選