薄膜應力測試儀

薄膜應力測試儀，又名薄膜殘餘應力測試儀或薄膜應力儀，是專門用於測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的必不可少的工具。

薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結構和性質有重要的影響, 可導致薄膜的光、電、磁、機械性能改變. 例如, 薄膜中的應力是導致膜開裂或與基體剝離的主要因素, 薄膜中存在的殘餘應力很多情況下影響MEMS 器件結構的特性, 甚至嚴重劣化器件的性能, 薄膜的內應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此, 薄膜應力研究在薄膜基礎理論和應用研究中起到重要的作用, 薄膜應力的測量備受關注。再例如在硬質薄膜領域，金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質薄膜因具有優越的耐磨、耐腐蝕等特性，被廣氾應用於金屬材料的防護．硬質薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學氣相沉積技術．研究發現，沉積態硬質薄膜中存在較大的殘餘應力，而且沿層深分布不均勻；該殘餘應力對硬質薄膜一基體系統的性能影響很大-lJ_精確地測量硬質薄膜的殘餘應力，系統研究它與沉積工藝的關係，對優化硬質薄膜基體系統的性能具有重要的意義．

本公司提供的薄膜應力測試儀採用優化的光槓桿的原理，根據我們科研工作者長期的紮實的理論研究和實際工藝探索，研製的一套適用於各種薄膜應力測試的裝置。近年來，經過國內知名院校和科研單位的實際使用和驗証，該儀器具有良好的重複性和準確性，是一款廣氾應用於各領域薄膜制備和材料研究的高性價比的儀器。

產品功能和特點：

自動採集分析數據功能；

自動掃查樣品邊緣，定位樣品中心；

自動計算出曲率半徑值和薄膜應力值；

對原始表面不平直的基片表面的薄膜，可採取原位測量的方式，計算薄膜應力值。

技術參數：
 

1.原理：曲率法Stoney公式

2.薄膜應力測量範圍：1×10-2GPa到1×102GPa；

3.曲率半徑測試範圍：0.3-60m

4.曲率半徑測試誤差：﹤±1%

5.薄膜應力計算誤差：﹤±2.5%

6.測試平台行程：100mm

7.控制：獨立PC及控制軟件

8.儀器尺寸：1500x1500x430mm

詳細信息請咨詢我們。