德國SENTECH公司PECVD 氣相沉積系統---上海/甦州/無錫/南京/天津/北京/武漢/西安/杭州/濟南/廣州

SENTECH儀器（德國）有限公司研發、製造和銷售先進的薄膜測量儀器（光譜橢偏儀、激光橢偏儀、反射膜厚儀）、光伏測量儀器（在線和離線測量工具）和等離子工藝設備（等離子刻蝕機、等離子沉積系統、原子層沉積系統、用戶定製多腔系統）。
    儀器廣氾應用於微電子、光電、納米技術、LED、平板顯示、材料、有機電子、光伏、玻璃鍍膜、生物學、生命科學、等研發領域。

NOVTEC寓意“科技創新”，即諾威特測控科技有限公司，在德國、日本設有代表處，多年來致力于將世界著名品牌的高科技產品帶給中國及亞洲的廣大用戶，並為客戶提供完善的售后服務，協助他們提高生產技術水平、競爭力及增加盈利，專業從事工業測量與測試產品的銷售與研發，擁有產品研發中心、研究院和生產工廠，技術力量雄厚。

產品簡介

    SI500D突出優點是採用平板三螺旋天線PTSA電感耦合等離子體ICP源和背部有氧氣冷卻系統的下電極，最大樣片直徑8寸。ICPECVD感應耦合等離子增強化學氣相沉積系統SI500D滿足高端工藝要求，適用於器材的生產和研發應用。SI500D在基於硅烷的沉積工藝中具有出色的性能。

    SI500PPD是標準的PECVD系統，配置帶干泵的預真空室，真空反應腔配置羅茨泵和渦輪分子泵。
    Depolad200是經濟型的PECVD系統，具有模塊化設計、工藝靈活和操作簡便的特點，樣片直接放置。刻逐步進行真空系統、供氣系統的升級，以滿足更高的工藝要求。

型號

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