CMPコンディショニング CMPコンディショナ
VLSIの製造プロセスにグローバル平坦化技術として、CMPが利用されています。CMPでの研磨レートを安定化するために、パッドのコンディショニングは不可欠です。旭ダイヤでは、多様化するCMPに対応すべく、形狀、仕様などに合わせ、様々なコンディショナを製作し、用意しています。