SRP-4面銅探頭參數：

l 準確度：5%，參考標準片

l 精確度：化學銅：標準差0.2 %，電鍍銅：標準差0.3 %

l 分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

l 厚度測量範圍：化學銅：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

電鍍銅：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

l 線性銅線寬範圍：203μm–7620μm（8mil–300mil

l 工作特點：應用先進的微電阻測試技術。繫繩式探頭由四支探針組成，AB為正極CD為負極；測量時，電流由正極到負極會有微小的電阻，通過電阻值和厚度值的函數關係準確可靠得出表面銅厚，不受絕緣板層和線路板背面銅層影響。耗損的SRP-4探針可自行更換，為牛津儀器專利產品。探頭的照明功能和保護罩方便測量時準確定位。