Manual analytical probe station, up to 6" （手動分析探針台，最大晶圓尺寸6"）
Magnification: 500X (25X objective x 10X eyepieces x 2X zoom) (放大倍數：500X，（物鏡25X、目鏡2X、變焦2X）)
Additional objectives: 8X & 2.25X （附加物鏡倍數：8X、2.25X）
6" x 6" stage travel（行程：6" x 6"）
No Z travel on stage (only micropositioners) （沒有Z向行程（只有微定位器））
Focus block for Z travel （Z向行進包含聚焦塊）
Bridgemount moved block 6" in Y & 8" in X （Bridgemount移動塊x向行進8"、Y向移動6" ）
Chuck moves 6" x 6" in X & Y （卡盤在XY向行程6" x 6"6" x 6"）
Platen controlled up and down by arm.（機械臂控制壓盤昇降）