利用超聲波發生器產生高于20kHz的超音頻電能，通過超聲波換能器的壓電效應逆作用轉換成相同頻率的機械振動能量，以超聲波的形式密集地沿換能器縱向傳播入清洗液中，使液體產生振動，並在清洗液中產生數以萬計的微小泡核，這些氣泡核在超聲波縱向傳播的負壓區形成及生長，而在正壓區迅速閉合（熄滅）。這種微小氣泡核的形成生長及迅速閉合的過程稱為空化現象。在空化現象發生時，微小氣泡從產生、生長及迅速閉合的瞬間形成超過1000個大氣壓的瞬時高壓，連續不斷的瞬時高壓就像一連串的小爆炸不斷地轟擊清洗物表面，使物體表面、縫隙及盲孔中的附着物污垢迅速剝落，這種空化侵蝕效應的作用就是超聲波清洗的基本原理。配合清洗劑，達到快速清除污垢之目的。