BOE就是buffer oxide etch.

本公司供用的BOE（腐蝕液）為高純化學品，等同于美國的SEMI C7標準，控制0.5、0.3um顆粒，控制三十多個金屬元素，單項金屬元素控制在10ppb以下。

BOE的主要化學組成包括氫氟酸（HF）和氟化氨（NH4F），氫氟酸是主要的蝕刻成份。氟發氨是作為氫氟酸的（緩衝劑），以補充氟離子在溶液中因蝕刻反應的消耗。

BOE蝕刻液常用來作為氧化層圖案的蝕刻，在半導體工業中常廣氾使用於蝕刻無光刻膠護罩的氧化層。

性狀：氟化銨的酸性溶液，無色透明，密度（25℃）1.06g/ml。呈酸性，遇熱分解。 
2. 用途：氧化硅層的緩衝氧化腐蝕劑，主要用於集成電路的生產。
3. 貯存及運輸
    ⊙ 酸性腐蝕品。密閉包裝，並貯存於陰涼通風處