連續性ITO導電玻璃磁控濺射生產線

1) 真空室體材料採用 SUS304 ，真空室內壁進行拋光處理，外壁採用拋光后噴珠處理。
2) 真空室之間採用獨立門閥—插板閥隔開，可以實現有效隔斷，穩定工藝氣體。目前我們公司採用插板閥設計，它比目前國內通用的翻板閥密封效果更好，更耐用。
3) 傳動採用磁導向，保障傳動的穩定性。整條生產線的各段速度採用變頻調速電機驅動，運行速度可調節。
4) 電氣控制系統：觸摸屏與 P L C 自動控制，人機對話方式來實現系統的數據顯示、操作與控制技術參數
1) 極限真空壓力：6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生產週期：根據產品確定
3) 基片架尺寸：可以根據要求定做
4) 膜層均勻性: ± 3％先進的移動磁場技術大大提高了靶材利用率
分段式加熱設計，有利於工藝優化。