明電舍(MEIDENSHA)真空電容器

 

明電舍通過40年對真空斷路器的開發製造，積蓄了該領域的豐富技術經驗，成功開發製造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機器的製造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)製造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，採用了真空封閉方式進行製造，並且採用了長時間保持真空狀態的構造。其產品用於：液晶屏面板製造裝置領域，太陽能電池板製造領域，醫療・測量機器領域，半導體製造裝置領域，廣播電視播放領域，科學研究領域等

 

真空電容器MEIVAC的特征是

高耐電壓 真空的耐電壓高，易於實現小型化；
低損失 可以適用於高RF頻率；
大電流通電 無整流子結構形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復性，可以承受瞬間過電壓；

 

 

規格

形式	SCV-155M	SCV-510M	SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp]	15	5	5
靜電容量[pF]	50-500	50-1000	90-1400
RF動作電壓 [kVp]	9	3	3
直線可變性 (pF/N)	42±4 (65pF 以上)	88±6 (80pF 以上)	115±8 (150pF 以上)
轉速（回）	12±1	12±1	12±1
最大容許電流 [Arms] (at 13.56MHz)	100	100	100
迴轉轉矩（N?cm） (kgf?cm)	24.5 2.5	24.5 2.5	24.5 2.5
重量（kg） 尺寸（長度×直徑） (mm)	1.3 140×φ73	1.35 140×φ73	1.4 140×φ73

 

真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基於明電舍的真空技術而開發的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜製造設備的阻抗整合器
2 通信器材的發報線路，同調迴路
3 誘電加熱設備的共振迴路
4 各種高頻率電源的電壓增幅迴路

近年來，由於半導體產業的發展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設備等半導體薄膜製造設備阻抗

整合應用領域。

 
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內的電極而實現靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構造以及增強材質的大電

流低扭矩型（H系列）。

標準型特點 
1 壽命長
  採用高強度的不鏽鋼風箱，實現可變範圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環。同時通過高強度特殊螺釘

構造，在可變範圍二分之一的情況下實現總迴轉數1000萬以上的長壽命。
2微型化
  陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現。
  統一設為全長140MM（裝置標準115MM），容易實現機器安裝時的可更換性。 

 

強電流低扭矩型特點 
    強電流通電
    風扇採用銅合金新材料，可以實現強電流通電。（強電流規格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、

160Arms)
    低扭矩
    H系列內部構造得到改良，小於18N.cm的低扭矩使得驅動馬達的微型化得以實現。
    長壽命
    採用高強度不鏽鋼風箱，通過可變範圍二分之一以下的風箱壽命100萬迴轉，以及高強度特殊螺釘構造，

能夠實現可變範圍二分之一的總迴轉達到1500萬以上的超長壽命。
 

真空固定電容器
 

真空固定電容器的誘導體為真空，使用損耗較低的陶瓷作為絕緣體，極大的抑制了損耗係數。從而使電容器即

實現了微型化，又能耐高壓和承受強大電流。

特點

  耐高壓
  由於絕緣體是真空，絕緣體能承受很高的電壓，即使在高電壓迴路中也安然無恙。
  低損耗
  真空誘電體能極大降低損耗。誘電體的損害只出現在構成真空容器的電容器兩端的絕緣陶瓷以及導航用陶瓷

。
  微型化
  通過採用耐高壓的特殊電極實現微型化。

 

型號列舉

VMMHCW-400-55, ITT VMMHCW-400-55S, C/VMMCH-450-55S, C/VMMHC-250-55S, CACA-250-0003, CACA-250-0005, CHV1-200-0007, CMV2-500, CMV2-500-5, CMV2-500-5S, CSV1-300-0103, CSV1-300-0105, CSV1-500, CSV1-500-0003, CSV1-500-0005, CSV1-500-3, CSV1-500-3S, CSV1-500-5, CSV1-500-5S, CSVF-500, CSVF-500, CSVF-500-0003, CSVF-500-0007, CSVF-500-0010, CSVF-500-0015, CSVF-500-0315, CSVF-500-10, CSVF-500-10S, CSVF-500-15, CSVF-500-15S, CSVF-500-7.5, CSVF-500-7.5S, CSVFN-500, CSVFN-500-10, CSVFN-500-10S, CSVFN-500-15, CSVFN-500-15S, CSVFN-500-7.5, CSVFN-500-7.5S,CSVS-500-0003, CSVS-500-0005, CVCD-250, CVCD-250-3, CVCD-250-3S, CVCD-250-5, CVCD-250-5S, CVCD-500, CVCD-500-3, CVCD-500-3S, CVCD-500-5, CVCD-500-5S, CVCE-250-6N833, CVDB-320, CVDD-200-7.5S, CVDD-250, CVDD-300, CVDD-300-10, CVDD-300-10S, CVDD-300-15, CVDD-300-15S, CVDD-300-7.5, CVDD-300-7.5S, CVDD-400-10, CVDD-400-10S, CVDD-400-15, CVDD-400-15S, CVDD-400-7.5, CVDD-400-7.5S, CVDD-500, CVDD-500-10, CVDD-500-10S, CVDD-500-15, CVDD-500-15S, CVDD-500-7.5, CVDD-500-7.5S, CVDE-200, CVDE-250-10S, CVDE-250-15N614, CVDE-250-15S, CVDE-250-7.5S, CVDE-275-15N614, CVEP-500, CVEP-500-10, CVEP-500-10S, CVEP-500-15, CVEP-500-15S, CVEP-500-20, CVEP-500-20S, CVFP-250, CVFP-250-30, CVFP-250-30S, CVFP-250-35, CVFP-250-35S, CVFP-250-40, CVFP-250-40S, CVFP-450, CVFP-450-30, CVFP-450-30S, CVFP-450-35, CVFP-450-35S, CVFP-450-40, CVFP-450-40S, CVHP-250-40, CVHP-250-40S, CVHP-250-45, CVHP-250-45S, CVHP-250-50, CVHP-250-50S, CVHP-250-55, CVHP-250-55S, CVHP-450-45, CVHP-450-45S, CVHP-450-50, CVHP-450-50S, CVHP-450-55, CVHP-450-55S, CWV2-250, CWV2-250-40, CWV2-250-40S, CWV2-250-45, CWV2-250-45S, CWV2-250-50, CWV2-250-50S, CWV2-450, CWV2-450-40, CWV2-450-40S, CWV2-450-45, CWV2-450-45S, CWV2-450-50, CWV2-450-50S, CWV3-450-0040, CWV3-450-0045, CWV3-450-0050, PV-4-500-15D3108, U-250, U-250-10, U-250-10S, U-250-15, U-250-15S, U-250-20, U-250-20S, UC-250, UC-250-10, UC-250-10S, UC-250-15, UC-250-15S, UC-250-20, UC-250-20S, UCS-300 motor, UCS-300, UCS-300-10, UCS-300-10S, UCS-300-15, UCS-300-15S, UCS-300-7.5, UCS-300-7.5S, UCS-375, UCS-375-10S, UCS-375-14S, UCS-375-15S, UCS-375-7.5S, UCS-400, UCS-400-10, UCS-400-10S, UCS-400-15, UCS-400-15S, UCS-400-7.5, UCS-400-7.5S, UCS-500, UCS-500-10, UCS-500-10S, UCS-500-15, UCS-500-15S, UCS-500-7.5, UCS-500-7.5S, UCSF-250, UCSF-250-10, UCSF-250-10S, UCSF-250-15, UCSF-250-15S, UCSF-250-7.5, UCSF-250-7.5S, UCSF-500 0107, UCSF-500, UCSF-500-10, UCSF-500-10S, UCSF-500-15, UCSF-500-15S, UCSF-500-7.5, UCSF-500-7.5S, UCSFN-250, UCSFN-250-10, UCSFN-250-10S, UCSFN-250-15, UCSFN-250-15S, UCSFN-250-7.5, UCSFN-250-7.5S, UCSL-250, UCSL-250-3, UCSL-250-3S, UCSL-250-5, UCSL-250-5S, UCSL-500, UCSL-500-3, UCSL-500-3S, UCSL-500-5, UCSL-500-5S, UCSLN-250, UCSLN-250-3, UCSLN-250-3S, UCSLN-250-5, UCSLN-250-5S, UCSLN-500, UCSLN-500-3, UCSLN-500-3S, UCSLN-500-5, UCSLN-500-5S, UCSV-250, UCSV-250-10, UCSV-250-10S, UCSV-250-15, UCSV-250-15S, UCSV-250-7.5, UCSV-250-7.5S, UCSXHF-450, UCSXHF-450-35, UCSXHF-450-35S, UCSXHF-450-40, UCSXHF-450-40S, USL-500, USL-500-3, USL-500-3S, USL-500-5, USL-500-5N606, USL-500-5S, USLS-465, USLS-465-10S, USLS-465-15S, USLS-465-3, USLS-465-3S, USLS-465-5, USLS-465-5D1542, USLS-465-5D579, USLS-465-5N825, USLS-465-5S, USLS-465-5S, USLS-465-7.5S, UX-500, UX-500-10, UX-500-10S, UX-500-15, UX-500-15S, UX-500-20, UX-500-20S, UX-500-7.5, UX-500-7.5S, UXC-500, UXC-500-10, UXC-500-10S, UXC-500-15, UXC-500-15S, UXC-500-20, UXC-500-20S, UXC-500-7.5, UXC-500-7.5S, UXCF-250, UXCF-250-10, UXCF-250-10S, UXCF-250-15, UXCF-250-15S, UXCF-250-20, UXCF-250-20S, UXCF-250-7.5, UXCF-250-7.5S, UXCF-500, UXCF-500-10, UXCF-500-10S, UXCF-500-15, UXCF-500-15S, UXCF-500-20, UXCF-500-20S, UXCF-500-7.5, UXCF-500-7.5S, VMMHC-250 (45Kv), VMMHC-250, VMMHC-250-35, VMMHC-250-35S, VMMHC-250-45, VMMHC-250-45S, VMMHC-250-55, VMMHC-250-55S, VMMHC-450, VMMHC-450-35, VMMHC-450-35S, VMMHC-450-45, VMMHC-450-45S, VMMHC-450-55, VMMHC-450-55S, VMMHCW-250, VMMHCW-250-35, VMMHCW-250-35S, VMMHCW-250-45, VMMHCW-250-45S, VMMHCW-250-55, VMMHCW-250-55S, VMMHCW-400, VMMHCW-400-35, VMMHCW-400-35S, VMMHCW-400-45, VMMHCW-400-45S, VMMHCW-400-55, VMMHCW-400-55S