美國API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發出的激光光束經過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經錐角反射稜鏡反向后返回干涉儀與參考光束相幹產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子記數，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保証激光光束的穩定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細週密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低，從而保証測量儀的長期穩定性。測量儀配有自動氣壓、環境溫度補償器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到最小。  

   美國API激光干涉儀XD Laser的技術參數： 

1．1D激光主要可以測量定位誤差 

2．3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向） 

3．5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角

4．5D/6D標準型技術參數：

    1) 線性：0.5ppm .

    2) 測量範圍：40米（1D可選80米）

    3) 線性分辨力：0.001um.

    4) 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

    5) 範圍：800角秒

    6) 滾動角精度：1.0角秒

    7) 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

    8) 直線度範圍：500um

    9) 垂直度精度：1角秒

   10) 溫度精度：0.2攝氏度

   11) 濕度精度：5%

   12) 壓力精度：1mmHg

美國API激光干涉儀XD Laser的特點：

1．同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角

2．設計用於安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

3．可選的無線遙控傳感器最長控制可到25米

4．可測量速度、加速度、振動等參數，並評估機床動態特性。

5．全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架

6．集成干涉鏡與激光器于一體

 

功能\型號		XD-1D		XD-3D	XD-5D	XD-6D
		標準型	精密性
線性範圍	（m）	45	40	45	45	40
線性精度	（ppm）	0.5	0.2	0.5	0.5	0.2
直線度	（um）	N/A	N/A	2.0+0.4/m	1.0+0.2/M	0.5+0.1/M
偏擺角	（角秒）	N/A	N/A	1.0+0.1/m	0.05+0.05/M	0.5+0.05/M
滾動角	（角秒）	N/A	N/A	N/A	N/A	0.5
垂直度	（角秒）	N/A	N/A	1.0+0.4/m	1.0+0.2/M	1.0+0.2/M
材料溫度	（℃）	0.1	0.1	0.1	0.1	0.1
空氣溫度	（℃）	0.2	0.1	0.2	0.1	0.1
大氣壓力	（mm Hg）	1	0.3	1	0.3	0.3