型號

5850E

5860E

流量範圍(N2)

  3SCCM~30SLPM

  3SCCM ~ 30slpm

  響應時間

  <3 sec

  <2 sec

精準度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重複精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  輸入/輸出信號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  +15 Vdc

  +15 Vdc

 耐壓

 1500psi

 1500psi

壓差範圍

5~50psi

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

工作環境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

使用範圍

  2 ~ 100%

  2~ 100%

接口形式

卡套、VCR

卡套、VCR