深圳市和興盛光電有限公司
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REAL非接觸表面輪廓測量儀 HM3-50是一款專門針對需要非接觸獲取表面高度或輪廓曲線的儀器, 採用創新的光譜共聚焦原理, 通過探頭掃描的方式獲取輪廓，並通過配套設計的軟件進行截面分析和測量，記錄測量數據，並帶有控製圖表和CPK等SPC統計功能，並能導出測量數據為Excel兼容格式。
光譜共聚焦原理：是一束多波長混合光束，聚焦到一個點上，由於各種波長光線折射率不同，聚焦的位置也不同。聚焦在物體反射表面上的波長的光線，經過聚焦后通過一個微孔到達光譜分析儀器，其它波長的光線由於沒有聚焦在物體表面，反射的光線只有極少能通過微孔，因此測量光線主波長就可以對應地得到該物體表面的高度。
該測量方法的優點是，對物體表面光學特征不敏感，可以測量各種顏色，各種反射度，各種透射率，包括透明材料和鏡面反射材料。而且由於光線從四面八方照射到樣品，對表面突變的邊緣不易產生影響測量的陰影效應。由於光譜分析儀器的分辨率可以達到納米級別，且對外界干擾光不敏感，所以測量精度高且穩定性好。
掃描臂和測量平台可分體的模塊化設計，使得要測量很大的樣品只需把掃描臂固定到更大的平臺上，具有更好的靈活性和可擴展性。

掃描臂主體框架採用穩定精密的單塊花崗石架構，提高穩定性，減少機架採用不同材料產生的熱膨脹變形。設計時充分考慮到發熱部件的安裝位置和散熱，減少發熱部件對架構的熱變形影響。
掃描軸使用光柵尺閉環位置反饋控制，沒有絲杆驅動產生的發熱膨脹以及磨損和間隙，運動精度穩定可靠。
亞微米級別的測量對震動非常敏感。測量平台可以配套安裝氣浮隔振器，利用帶阻尼機構的空氣懸挂吸收和隔離大部分外界震動，可以減少樣品移位和讀數跳動，提高精度。平台自帶水平儀，方便用戶隨時監控平台是否放置水平，提高測量可靠性。
採用測量探頭運動樣品不運動的設計，可以避免樣品產生震動和搖晃，並避免了樣品運動和空氣碰撞產生的氣流影響，可以大幅度提高測量精度，對於未固化的漿料、膠水、油墨濕膜以及薄或柔軟的、底部不平整度大於測量分辨率的基材來說，這一特點非常重要。


應用範圍：漫反射/透明/鏡面，固態液態均可（膠水、銀漿、油墨等）
可測濕膜厚度：2~350μm
可測最小寬度：10μm
高度測量分辨率： 0.022μm（=22nm=0.000022mm）
重複精度： <0.1um于標準量塊上）
XY平臺大小：500X760mm（最大可定製）
Z軸可調整範圍： 35mm 
允許被測物高度：80mm
最大掃描距離： 50mm
最大掃描速度：27mm/s
掃描軸最小步距：1μm
掃描軸直線度：0.1μm（0.000375%FS，校準后）
最高采樣頻率： 900樣品/S （測量頭靜態可達2000樣品/S)
運動系統：磁懸浮，超精密導軌
控制系統：光柵全閉環控制
基準平面修正：兩點參照修正傾斜
數據傳輸：USB數字、光纖傳輸
測量模式：手動定位和調焦，自動掃描
測量速度：每次測量約5~10秒（短距離掃描，不包括被測物擺放時間）
測量結果：長、寬、平均厚度、最高厚度、目標邊線厚度等，主要數據可導出至Excel
SPC統計功能：平均值、最大值、最小值、極差、標準差、CP/K/CPK等。Xbar-R均值極差控製圖（帶超標警告區），直方圖、規格參數可自主設置。
測量侷限性：光照射不到或無法反射足夠光線到探頭的地方無法測量。
本身發光或熒光物質需確認。（凹球面反射鏡和透鏡等光學部件或類似的表面 需要確認光路合理性）
必須配置：測量探頭；探頭控制器；掃描臂；掃描臂控制器；
測量軟件 
可選配置：測量平台；阻尼隔振器；平面誤差小於0.1um標準表面；
電腦和操作系統 
平台尺寸：600x800（更大可定製）
使用環境要求：遠離震動和強光，無塵，恆溫建議放在基礎層樓層穩固的桌子（20攝氏度 正負1度，至少10萬級潔淨度，照度低於100LUX，濕度<60%RH且較穩定）
壓縮空氣/氮氣/純淨水：無需 
電源電壓： 220V正負10%，交流50Hz