一、用途：

油擴散泵是用來獲得10^-2～10^-4Pa高真空的主要真空獲得設備，它與真空閥門、水冷擋板、管道、前級泵等真空元件一起組成高真空抽氣系統，如果用液氮等冷卻裝置，並加烘烤等措施，可獲得超高真空。

二、工作原理簡介：

油擴散泵工作原理是用室溫下飽和蒸汽壓很低的擴散泵油或硅油經油鍋加熱蒸發成油蒸汽，經導流管、噴嘴形成高速蒸汽射流作為工作介質，靠擴散和攜帶完成抽氣過程的一種高真空獲得設備。

在油擴散泵前級配置一個抽氣量相當的機械泵，使擴散泵內達到1Pa的真空狀態，通電加熱，使泵工作介質蒸發並沿導流管定向流動經噴嘴高速噴出，被抽氣體靠擴散和攜帶作用被蒸汽射流帶到泵壁，油蒸汽冷凝后返回油鍋，氣體被逐級壓縮，最後被噴射級蒸汽射流攜帶到前級，被前級泵抽走。

三、特性：

1.抽氣速率高，對惰性氣體如氦、氖、氬及氫氣也有較大的抽氣能力。

    2.結構簡單，無機械傳動部分，壽命長，容易操作和維護保養。

    3.極限真空度高，用擴散泵油作為工作介質可高于6.6×10^-5Pa。採用硅油作為工作介質可達到更高真空度。

四、特點：

1.本公司生產的KT凸腔系列油擴散泵和KTD凸腔低返油率系列油擴散泵，是國內唯一採用內加熱和外加熱形式的生產廠家，由於採用了內加熱形式，提高了熱效率30％以上，泵啟動快（小泵20min，大泵50min），大大提高了生產效率，而且降低了加熱功率，節能降耗效果明顯，功率降低20％左右，經濟效益明顯。（特別訂貨配置）

2.本公司使用的內加熱器是自己開發研製生產的，質量優良可靠，由於加熱器浸在油中又在真空狀態下不易氧化因而使用壽命長。加熱器採用金屬密封，安全可靠、更換方便。（特別特別訂貨配置）

根據用戶習慣，本公司仍保留外加熱形式，但對加熱器進行了必要的改進，使之更加可靠。

3.為了保証泵的安全運轉，本公司生產的油擴散泵還設計有非常可靠的觀察窗，以方便用戶直觀檢查泵油是否氧化和油損耗情況，以便及時添加或更換泵油，從而防止了干燒事故。

4.本公司在泵底油鍋內設有不鏽鋼快速水冷管，小泵停泵20min，大泵停泵30min即可通水急冷，30min后就可停前級泵，與國內同類產品相比，不僅啟動快，停泵也快。（特別訂貨配置）

5.根據本公司多年研究發現，油擴散泵常常不能正常工作的原因，除油品性能不穩定外，就是泵加熱設定后不能適應季節變化以及泵使用一段時間后油損耗的變化。常使泵無法正常工作，造成用戶無所適從。因此本公司生產的各類油擴散泵均設有溫度顯示和溫度測試傳感元件，用戶可根據自己的情況對加熱功率進行控制，選擇最佳的工作溫度，使之常年保持穩定的比值從而保証了油擴散泵的正常工作。

6.傳統的油擴散泵放油口徑過小，密封不可靠，給用戶帶來極大的不便。本公司採用大管徑、金屬密封，密封可靠，放油快，大大方便了用戶的使用。

7.我國傳統的油擴散泵無加油口，給用戶的使用及維護帶來很大不便，本公司生產的油擴散泵設置有加油口，使用十分方便。

五、注意事項：

1.油擴散泵安裝時應垂直放置，使泵內泵芯部件處於正常工作狀態。各橡膠密封處應密封可靠。

2.油擴散泵加熱前必須保証冷卻水暢通，泵內處於1Pa真空狀態下方可加熱。加熱前先將急冷裝置上水源徹底切斷。

3.油擴散泵停止工作時，泵內應避免放入大氣，以延長泵油壽命並減少泵油的吸氣量。特別應防止泵剛停止工作尚未冷卻就放入大氣，以免泵油氧化。

4.油擴散泵長期存放，最好抽成低真空，以防泵油污染和各零件腐蝕，並應吹淨冷卻水套內的剩水。

5.被抽氣體應是乾燥、無腐蝕、無灰塵的室溫狀態下的氣體。

6.泵正常工作時性能突然變坏，應檢查電熱管或加熱器是否斷路。

7.在泵長期工作后，泵性能逐漸變坏，檢查油量是否減少或氧化，以便增添油量或清洗后烘乾換新油。

8.一次裝拆后，如性能上不去，可檢查是否密封可靠或裝配不當。

9.操作過程中，應注意擴散泵的前級機械泵的工作是否正常，一般機械泵的極限壓力應比擴散泵的最大反壓力低一個數量級，當機械泵性能變坏后也將直接影響油擴散泵的正常工作。

 

K系列高真空油擴散泵性能指標技術參數：

型號 參數			K-500	K-800	K-900
極限壓力 Pa			6.7×10- 5
抽氣速率 L/S		單泵	12000	22000	32000
		擋板	10000	19000	28000
臨界前級壓力 Pa			40	40	35
反油率 mg/(cm2.min)	單泵		4×10- 3	3×10- 3	2×10- 3
	擋板		8×10- 5	6×10- 5	4×10- 5[a1]
加熱功率 kw			12	15	24
電源電壓 v			380（三相）
泵油牌號			KS-3（KS-2）
泵油用量 L			6	10	12
冷卻水用量 L/h			860	1180	1330
推薦前級泵抽速L			140	300	300
重  量 Kg			300	700	910

 K系列高真空油擴散泵連接尺寸（見附圖2）：

 

規格 尺寸	K-500	K-800	K-900
D	φ500	φ800	φ900
d	φ130	φ160	φ200
D1	φ635	φ890	φ980
d1	φ190	φ200	φ240
n1-φ	20-φ18	24-φ14	28-φ22
n2-φ	8-φ10	8-φ12	8-φ18
H	1220	1666	1830
L	584	1000	810
A	635	700	1075