型號: | ZK |
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品牌: | 聚龍 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 其他工業設備 |
標籤︰ | 高真空增擴 |
單價: |
-
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最少訂量: | - |
一、 工作原理:
ZK系列高真空增壓擴散泵與擴散泵工作原理基本相同。但由於該泵泵體上採用了增壓結構,泵芯上採取了特殊措施,加熱器採用了內加熱方式,故而增壓擴散泵抽速範圍向高壓強延伸了半個數量級,在6x10-2~1x10-1Pa範圍內仍有滿抽速,在1x10-1Pa時抽速可達名義抽速的80%,填補了擴散泵與擴散噴射泵啣接所造成得凹谷。所以該泵特別適用於起始工作瞬間放氣量特別大或者工藝過程中突發大量放氣的真空應用設備,如真空鍍膜機和要求較高真空條件的各種真空爐。實踐証明該泵有擴散泵和擴散噴射泵無法替代的獨到優勢,完全可以取代擴散泵成為換代產品。
二、 主要用途:
ZK系列高真空增壓擴散泵是用來獲得10-1~10-4帕高真空的理想獲得設備,它和閥門,水冷擋板管道,機械泵一起組成高效率的真空抽氣系統。如果在機械泵前加機械增壓泵就會形成更強大的高真空高效率真空抽氣系統。可以廣氾用於電子工業、機械工業、冶金工業、輕工業、原子能工業和航空航天等部門。
三、 性能特點:
ZK系列高真空增壓擴散泵除具有擴散泵的所有特點外,還有以下特點。
1、結構設計上採用了多項改進措施,故而在擴散泵和擴散噴射泵不能工作的6 x10-2~1x10-1帕範圍內仍保持滿抽速,在1x10-1帕時還有名義抽速的80%。
2、加熱形式採用了特殊設計的內加熱方式,加熱器是完全浸在油中工作,因此具有更換方便、不易短路、安全可靠、不怕灰塵、熱損耗小、熱效率高、泵啟動快、油鍋壓強高、加熱器使用壽命長等特點,為泵抽速範圍向高壓強方向延伸提供了可靠保証。
3、該泵在泵底內設有急冷裝置,在泵停止加熱30分鐘后,通水急冷可以有效縮短停泵時間,節能降耗效果顯着。(客戶選裝)
4、該泵有改進設計的油標測量裝置,可靠不漏氣不易破碎。方便用戶定期檢查油的損耗情況以便及時補充。
5、該泵設有加油口,使用方便。
四、 高真空增壓擴散泵的維護與保養。
1、增壓擴散泵在安裝完畢后,應先用500V搖表檢查加熱器的絕緣,以防運輸震動造成短路,在確認絕緣可靠情況下方可通電加熱。
2、增壓擴散泵安裝應垂直放置,使泵內泵芯,部件處於正常工作狀態,密封圈密封要可靠,與前級泵的連接必須有彈性元件,以防泵體震動,影響泵的正常工作。
3、泵的停止冷卻應徹底,嚴格避免泵在未涼透前放入大氣,造成泵油的污染和氧化,急冷裝置必須在泵停止加熱30分鐘后方可通水使用。
4、增壓擴散泵加熱前,前級必須保証提供1帕以下預真空,必須保証冷卻水的通暢。
5、增壓擴散泵抽出的氣體應是乾燥,無腐蝕的室溫氣體。
6、泵正常工作時性能突然變坏,應檢查加熱器是否短路、斷水、泵油是否損耗或氧化,密封是否失效,使用的泵油是否合格。
7、泵長期不用,要抽低真空儲存,用壓縮空氣吹淨冷卻水管內的剩餘水以防腐蝕水冷系統。
8、凡屬於製造不良使用中不能正常工作時,本公司負責免費修理,保修期一年(易損件加熱器、擴散泵油不屬保修範圍)。
9、由於受結構設計的限制,ZK系列中ZK-300T以下加熱器均220V單相送電,用戶在使用中要注意電網電壓的平衡。
五、 ZK系列高真空增壓擴散泵主要安裝尺寸,附圖見表1
圖示符號相應尺寸列表
表1
規格 尺寸mm | ZK-200T | ZK-300T | ZK-400T | ZK-500T | ZK-600T | ZK-800T |
D | φ200 | φ300 | φ400 | φ500 | φ600 | φ800 |
d | φ65 | φ80 | φ100 | φ150 | φ150 | φ250 |
D1 | φ250 | φ350 | φ480 | φ580 | φ670 | φ880 |
d1 | φ105 | φ125 | φ145 | φ200 | φ195 | φ300 |
n1—φ | 8—φ12 | 8—φ14 | 16—φ12 | 16—φ12 | 12—φ21 | 20—φ21 |
n2—φ | 4—φ9 | 8—φ9 | 8—φ8 | 8—φ12 | 8—φ12 | 8—φ14 |
H | 550 | 720 | 980 | 1250 | 1480 | 1980 |
L | 200 | 280 | 360 | 500 | 600 | 800 |
A | 240 | 330 | 460 | 616 | 660 | 920 |
六、 ZK系列高真空增壓擴散泵主要性能參數見表2。
高真空增壓擴散泵主要性能參數
表2
型號 項目 | ZK-200T | ZK-300T | ZK-400T | ZK-500T | ZK-600T | ZK-800T | |||||||||||||
極限壓力 Pa | 2x10-4 | ||||||||||||||||||
抽氣速率L/S 5x10-3~1x10-1Pa | 2000 | 4000 | 6000 | 10000 | 14000 | 20000 | |||||||||||||
抽氣速率L/S 1x10-1Pa | 1600 | 3200 | 4800 | 8000 | 11000 | 16000 | |||||||||||||
臨界前級壓力Pa 1x10-1Pa | 40 | ||||||||||||||||||
加熱功率 (KW) | 1.8 | 3 | 6 | 6 | 9~12 | 18 | |||||||||||||
電源電壓 (V) | 220 | 220 | 380 | 380 | 380 | 380 | |||||||||||||
泵油牌號 | KS-3 | ||||||||||||||||||
泵油用量 | 1.2 | 3 | 5 | 8 |
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