LAB探針台
| 型號： | LAB |
|---|---|
| 品牌： | PRCBE |
| 原產地： | 中國 |
| 類別： | 電子、電力 / 儀器、儀表 / 其他儀器、儀表 |
| 標籤︰ | 探針台 , 探針測試台 |
| 單價： |
¥35000
/ 件
|
| 最少訂量： | 1 件 |
產品描述
S系列為真正意義上的模塊化結構設計探針台，讓用戶可完全圍繞實際應用，選擇最適合的功能配置，確保最佳成本解決方案的同時滿足用戶將來的升級需求。
S系列可定製的模塊為：載物台及其移動基座模塊、探針座放置平台移動模塊和顯微鏡及其移動基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時，還可根據自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統、半自動控制系統、全自動控制系統、高溫測試系等，滿足更多的應用需求。
S系列還為用戶提供了一個高剛性和穩定性的測試系統。載物台移動基座和探針台底座一體化的結構設計，顯著地提高了載物台的結構剛性和穩定性。顯微鏡支撐為龍門結構，可應用於高放大倍率的光學系統，保証光學系統的穩定性。探針座放置平台採用高剛性結構設計，保証平台板整體的垂直應力形變在5μm/10N以內，擁有極高的穩定性以滿足高精度探針座的定位要求。
|
技術指標 |
|
載物台(常規晶圓載物台） |
|
|
尺寸 |
6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
|
材質 |
不鏽鋼 |
|
平整度 |
≤±2.5μm |
|
真空區域* |
0，2"，4"，6"環形吸附** |
|
真空控制 |
手動控制，獨立真空區域 |
|
真空驅動方式 |
真空泵 |
|
載物臺電性能 |
載物台信號導通，可選擇接地或接信號 |
|
*根據載物台尺寸有所不同，如載物台尺寸為12"，則真空吸附區域為0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環形吸附外，還可選微孔吸附式載物台，以適用於厚度在50μm或以內的晶圓。 |
|
|
|
|
|
載物台移動基座 |
|
|
X-Y軸行程範圍* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 |
|
精度 |
1μm |
|
R軸粗調角度範圍 |
360° |
|
R軸細調角度範圍 |
±9° |
|
微調精度 |
0.0001°/deg |
|
Z軸細調行程範圍 |
13mm |
|
細調精度 |
1μm |
|
Z軸快升行程 |
0~6mm, 可調 |
|
Z軸往復精度 |
<1μm |
|
載物台快速拖出行程 |
100mm |
|
*根據載物台尺寸不同，行程有所不同，如載物台為12"，則X-Y移動行程為12"*12"。 |
|
|
|
|
會員信息
| 深圳市展芯科技有限公司 | |
|---|---|
| 國家/地區︰ | 广东省深圳市 |
| 經營性質︰ | 生產商 |
| 聯繫電話︰ | 18929307140 |
| 聯繫人︰ | 向紅 (銷售) |
| 最後上線︰ | 2015/10/13 |
