型號
抽氣速率(L/s)
極限分壓 (Pa)
極限全壓 (Pa)
最大允許壓差(Pa)
零流量最大壓縮比
電機功率(kW)
進氣口徑(mm)
排氣口徑(mm)
0.03
配雙級滑閥真空泵
0.5
0.05
配單級滑閥真空泵
0.8