英國Oxford牛津SRP-4面銅探頭（CMI563/CMI700專用）

SRP-4面銅探頭測試技術參數

專用於Oxford牛津CMI760(CMI700)座臺式孔面銅測厚儀

銅厚測量範圍：

化學銅：10μin–500μin (0.25μm–12.7μm)

電鍍銅：0.1 mil–6 mil (2.5μm–152μm)

線形銅可測試線寬範圍：8 mil–250 mil (203μm–6350μm)

準確度：±1% (±0.1μm)參考標準片

精確度：化學銅：標準差0.2 %；電鍍銅：標準差0.5 %

分辨率：0.01 mils≥1 mil, 0.001 mils <1 mil,

0.1μm≥10μm, 0.01μm < 10μm, 0.001μm < 1μm