接觸晶圓的吸筆盤面採用耐溫等級更高、尺寸更穩定、密封性更好的Torlon PAI。
PAI 真空吸筆先比常用的 ESD PEEK吸筆頭，可以使用在更高的工作穩定環境下，主要的特性優點：
1、在高達 275℃ 時仍具有優異的長期強度和剛度
2、出色的耐磨損性
3、從低溫到 275℃ 都具有卓越的韌度
4、耐強酸和大部分有機物
5、固有的阻燃性
6、低的線性熱膨脹係數
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