大型LNG杜瓦罐抽真空系統，將24~48只低溫絕熱鋼瓶放置在烘箱內進行烘烤加熱抽真空，所有鋼瓶的真空口用高真空推拉閥和波紋管連接，機組採用雙極旋片泵預抽，羅茨泵加速，用擴散泵或者分子泵精抽，整個抽真空工藝5-7天完成，真空泵的測量規管和機組由業主自由選配，最終主管路極限真空度優于：7×10-5Pa。

一、雙級旋片式真空泵

每秒抽氣速率30升（70升）

極限真空為6×10-2Pa

30升的功率為3KW（70升功率5.5KW）

二、電磁真空帶充氣閥

三、羅茨真空泵

極限真空為5×10-2Pa

速率每秒150升的功率為3KW

速率每秒300升的功率為5.5KW。

四、擴散真空泵

擴散泵的極限真空是7×10-5Pa

口徑150mm的功率是1.5KW。

五、電阻規

電阻規為測量低真空的測量探頭

六、電離規

電離規為測量高真空的測量探頭

七、杜瓦罐烘箱

自動溫控0~400度可調

復合數顯真空儀表

烘箱功率6KW