MO源未來的發展。針對剛才三個不足之處,特別對於水氧的敏感,如何降低對水和氧的敏感。因為週圍三個甲基,週圍只有六個電子,有接觸電子的能力,這個性質不是非常穩定。因為在元素週圍要達到八個電子是比較穩定的。採用一些孤電子,像胺、膦。這個表當中列出來的,比如說像這樣的MO源,通過有孤類電子的膦,降低它的活性。
二是降低碳沾污,將三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁等分子中的甲基替換成異丙基或叔丁基。
三是改進固體三甲基銦源蒸氣壓的措施。改變封裝容器的結構,配置成溶液銦源。制備業態銦源。
四是採用單一的MO源。現在大家也知道我們的MOCVD是用三甲基鎵和氨氣進行反應,現在氨氣用量是非常大的,這麼大量的消耗,而MO的消耗通常只有3公斤這樣的水平已經是比較多了,而氨氣,在3公斤MO的情況下面需要1.5噸,所以這兩個比例是非常不協調的。將來可能採用單一的MO源,就是在一個MO當中,就是不需要使用那麼多氨氣的消化。
江蘇愛姆歐光電材料有限公司 | |
---|---|
國家/地區︰ | 江苏省镇江市 |
經營性質︰ | 服務或其他 |
聯繫電話︰ | 13776601785 |
聯繫人︰ | 沈克成 (經理) |
最後上線︰ | 2015/04/24 |