電池硅片石墨舟石英舟擴散上下料機主要技術參數：

1．外形尺寸：石英舟下料機寬1.6 米X 長3.0 米X 高2.5 米
2．生產效率：8000 -12000片/小時
3．碎片率：≤0.3/1000（原碎片除外）
4．工位數：雙工位
5．設備適用156×156 (±0.5mm) （6 英吋）硅片
適用藍具為100 層石英舟載具.50 片塑料花籃。

電池硅片石墨舟石英舟擴散上下料機目地：

1．將石英舟內的硅片通過雙吸盤機構吸取出，然後裝進
塑料籃具內，以及把塑料花籃內的硅片通過雙吸盤機構吸取
出，然後裝進石英舟內。以供下一道工序使用。
2．適用尺寸：156×156 (±0.5mm)厚度為160～280μm 的方形
硅片。
3．操作方式：全自動