管式退火爐

管式退火爐用於大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，其關鍵部件全部採用進口部件，仿國外先進熱處理製造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家知名廠家選為長期供貨商，專業團隊設計製造，可根據客戶不同需求定製，廠家直接供貨，質優價廉。

主要技術參數                            

◆工藝管數量：可根據客戶需求製作為1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英吋）

◆結構型式：臥式熱壁型或立式

◆工作溫度範圍：400～1280℃

◆恆溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超淨工作台：淨化等級：100級（萬級廠房）

                  噪音：≤62dB（A）

                  震動：≤3μm

◆控制方式： 工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

我公司可根據客戶需求個性化專業定製管式退火爐，管式真空退火爐、管式擴散爐、管式燒結爐、管式合金爐等高溫電爐，廠家直接供貨，質優價廉，歡迎廣大用戶來電咨詢。