HANBELL漢鐘干式真空泵
包括臺灣漢鐘干式螺杆式真空泵和臺灣漢鐘干式多級羅茨真空泵
PDR系列
包括機型 漢鐘真空泵 PDR100 ， 漢鐘真空泵 PDR602， 漢鐘 真空泵

PDR1202
上海漢鐘干式真空泵 PS系列
包括機型 漢鐘真空泵PS80 ，漢鐘真空泵PS160，漢鐘真空泵 PS180，

漢鐘真空泵 PS602，漢鐘真空泵 PS1302

臺灣漢鐘真空泵PS系列產品特點
螺旋真空泵浦產品特色
　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉

子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，

因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極

壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除

能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因

此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。

泵浦溫度控制精準
　　漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優良的轉

子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼

體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加

真空泵浦的壽命。

密封馬達安全性高
　　PS系列真空泵浦亦全面採用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能

維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可完全避免製程氣體外

漏的風險。

微電腦控制保護週全
　　PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監控馬達電流、馬

達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供

真空泵浦完整的安全性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與

TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。