可用於實驗室的小型真空等離子設備，可對各種材料進行處理，操作簡單。

用途：適用於LED、LCD、SMT領域，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業等。
　　　★LED、LCD、SMT領域：LED打線、IC封裝前的清洗，LCD製造工藝中清洗偏光片、排線基位，電子元器件、光學元器件表面的清洗。
　　　★硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。