淨化原理是：原料氣首先通過催化反應器，由高效催化氧化劑氧化脫除氫、一氧化碳、甲烷（烴類）等雜質，然後通過除氧器由脫氧劑脫氧，***終通過吸附器吸附微量水、二氧化碳，得到高品質的高純氣體。如氣體純度要求達到＞99.999％，則採用專門用於淨化氣體的活性金屬合金吸收殘餘的氮氣中雜質，得到超高純氣體。
　設備性能與指標
1、處理氣量：1—3NM3／hr
2、原料氣： 液氬99.99% O2<5ppm 露點<-45℃
H20<1ppm CO2 、CO<2ppm
3、淨化后氣體質量：
O2<1ppm H2<1PPm CO<1ppm CO2<1ppm
露點<-76℃ 塵埃<100 級
4、操作壓力： 0．8Mpa
5、操作溫度：
反應溫度：280—320℃ 乾燥溫度：300—320℃
6、電能耗量：
3.0KW(反應器1.5 千瓦長期使用乾燥器只有乾燥再
生使用)
7、冷卻水：水溫15℃左右，水耗量0.2T／hr
8、外型尺寸：寬×深×高(mm) 750×650×1550