濺射靶材主要應用於電子及信息產業，如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用於玻璃鍍膜領域;還可以應用於耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業。

分類

• 根據形狀可分為長靶，方靶，圓靶，異型靶

• 根據成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材

• 根據應用不同又分為半導體關聯陶瓷靶材、記錄介質陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等

• 根據應用領域分為微電子靶材、磁記靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材