六氟化硫為無色、無味、不燃燒，無電抗性的、相對無毒、僅有窒息性的液化氣體。液化瓶裝氣體，壓力為其蒸氣壓(202.78 kgf/cm2 @21.1°C)。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣氾應用於電器工業，如：斷路器、高壓開關、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。SF6還因其化學惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣氾應用於金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空 航天、醫療（Ｘ光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用於微電子技術領域。隨着當今科技的發展，SF6涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣氾應用，在制冷行業，用六氟化硫做制冷劑，致冷範圍可在-45℃～0℃之間。

    六氟化硫斷路器是利用六氟化硫氣體作為滅弧介質和絕緣介質的一種斷路器。六氟化硫用作斷路器中滅弧氣體介質始於20世紀50年代初。由於六氟化硫氣體的優異特性，使六氟化硫斷路器單斷口在電壓和電流參數方面大大高于壓縮空氣斷路器和少油斷路器，並且不需要高的氣壓和相當多的串聯斷口數。在60～70年代,SF6斷路器已廣氾用於超高壓大容量電力系統中。80年代初已研製成功363千伏單斷口、550千伏雙斷口和額定開斷電流達80、100 千安的SF6斷路器。

六氟化硫的應用
    用作六氟化硫斷路器、互導傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體
    用作鎂鋁合金壓鑄的保護氣體
    電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體，廣氾應用於微電子技術領域
    作為光導纖維製造中的單膜光纖隔離層摻雜劑
    作為大氣污染監測和水文地質檢測領域的示蹤劑
    肝臟腫瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途